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产品展示
产品介绍:
产品特征:
最大行程4m x 4m 以线性滑轨或空气轴承架构之定位平台良好接地设计防止杂讯干扰 Z向震动可达奈米等級以下最大速度可达5m/s 标准重現精度1um或以下位置回馈系统解析度最低可达50nm
产品应用:
半导体设备自动化搬送FPD设备太阳能制造设备 PCB设备水刀设备钻石切割设备 AOI检测设备工具机